由于气体分为单质气体、多元气体、混合气体和有机化合物气体等，所以可将组成气体的物质（或元素）称为该气体成分。因此气体纯度的含意可理解为：除本气体成份外，所含其它物质的多少。气体纯度的提法有多种，如普通纯、高纯气体、电子纯、特纯等，随着超大规模集成电路（VLSI）和特大规模集成电路（ULSI）的发展，又有VLSI和ULSI级纯的超净气体。这些提法都不十分确切，只是粗略的讲了气体纯度的高低，没有真正说明气体纯度的大小。
工业气体是一种瓶装压缩液态气体，在常温常压下呈气态，气体种类有繁多，主要用于各种工业制造方面。气体产品作为现代工业重要的基础原料，应用范围十分广泛，在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工等部门，均使用大量的常用气体或特种气体。高纯气体(PurifiedGases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同。
氮是一种中性气体。在非活化状态下，氮可用作保护加热，防止钢铁的氧化、脱碳，因而广泛地用于光亮淬火、光亮退火、光亮回火等热处理工艺中。在真空热处理时，氮气常作为冷却介质使用；充氮加压油淬时，氮气既可保护真空炉的电热元件，又可通过调节氮气压力，提高钢件的淬硬性。在一定电压和低真空状态下，氮会电离，可进行离子渗氮和离子氮碳共渗，在渗碳、渗氮时，常用氮气进行炉内吹洗、排气，炉门的气帘密封，渗碳后的防氧化冷却。
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